荷蘭bronkhorst FF-A500型壓力控制器技術參數
荷蘭bronkhorst FF-A500型壓力控制器適用于在真空和 17 bar(a) 之間的工作壓力下精確測量和控制 0…500 ml n /min 和 0…20 l n /min 之間的流量范圍。該儀器將基于毛細管 MEMS 技術的快速穩定的熱質量流量傳感器與精確且經過驗證的旁路結構相結合。
荷蘭bronkhorst FF-A500型壓力控制器技術參數如下：
流量范圍（可提供中間范圍）分鐘。
最大0…500 ml n /min 0…20 l n /min
（以 N 2 計）
壓力范圍PA：0...17 bar(a)
PS：不可用
BtO：FF-C10：不可用 / FF-C11：0...17 bar(a)
精度（包括線性度）（基于實際校準）PA：±0.8% Rd + ±0.2% FS (N 2 /Air/O 2 )；
PS：±1.5% Rd + ±0.5% FS (N 2 /Air/O 2 );
BtO：高達 ±0.5% Rd 加上 ±0.1% FS (N 2 /Air/O 2 )；
對于其他氣體增加轉換不確定性；查看多氣體表；
重復性流量傳感器：< ±0.2% Rd；
壓力傳感器：< ±0,2% FS
調節比PS：1:50
PA：1:500
BtO：高達 1:1000
最大限度。運營壓力16巴克
多氣體/多范圍22 種氣體以及這些氣體的任何混合物的嵌入式氣體數據
穩定時間（受控，典型）< 150 毫秒
長期穩定性< 0.5% 滿量程 3 年；然后 < 0,2% FS 每年
控制穩定性< ± 0,1% FS（1 l n /min N 2 的典型值）
工作溫度0...50攝氏度
安裝任意位置，姿態敏感度可忽略不計
溫度敏感性流量傳感器：零 0,0015% FS/oC；量程 0.03% Rd/oC；
壓力傳感器：零 0.16 mbar/oC；量程 0,05% Rd/oC
溫度精度± 0,2 oC（儀器本體溫度）
精度壓力傳感器±0,5% 滿量程
壓感標準：< 0,15% Rd/bar 典型 N 2；
帶壓力校正：< 0,02% Rd 典型值 N 2
泄漏完整性，舷外經測試 < 2 x 10 -9 mbar l/s He
通過關閉的閥門泄漏典型值 < 1 x 10 -4 mbar·l/s He
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